雷神研究院微机电与半导体制备研究所长期致力于微机电系统（MEMS）与半导体核心制备技术的研究与开发。研究所与台湾大学、郑州大学等国内外知名高校及科研机构建立了持续深入的合作关系，以半导体芯片及先进传感器制造为技术核心，成功开发了集设计、生产、测试、喷镀等环节于一体的完整解决方案。该解决方案可广泛应用于功率电子器件、传感器、光电子器件、微波电路及其他新型电子元器件的单、双面对准及曝光工艺，对半导体设备的设计、教学与研发工作形成了有力支撑。未来，研究所将进一步依托自身技术积累，为省级MEMS平台建设提供系统化支持。

目前，研究所产品体系涵盖微纳制备与半导体测量两大方向。在微纳制备领域，主要设备包括接触式曝光机、步进式光刻机、磁控溅射镀膜机及纳米静电纺丝机；在测量检测领域，则拥有点测系统、无损检测系统、交变梯度磁力计、振动样品磁强计、磁光克尔效应测量系统、柯尔显微镜及接触角测量仪等一系列关键设备，共同构成覆盖制备与表征全流程的设备支撑能力。