支撑平台
郑州市微机电与光刻系统工程技术研究中心
郑州市微机电与光印系统工程技术研究中心(以下简称“工程技术研究中心”)是经郑州市科学技术局认定的市级产业技术创新平台。中心依托河南雷神光电技术有限公司在微机电(MEMS)与精密光刻领域的深厚产业基础与技术优势,通过系统整合高校、科研院所及产业链上下游的优质资源,致力于打造一个集技术研发、产业转化与区域服务于一体的高水平创新引擎。该工程技术研究中心聚焦于微机电系统的微型化、集成化与光刻系统的关键技术突破,以推动新一代信息技术和高端装备等战略性新兴产业发展为核心使命,为郑州市乃至河南省的制造业数字化转型与培育新质生产力提供关键技术支撑。主要有四大发展方向。
一、技术研发突破
工程技术研究中心以微机电系统(MEMS)的微型化与集成化创新为根基,致力于开发具备新原理、新功能的微型元件及智能系统,实现电子系统与物理世界的深度交互。同时,工程技术研究中心重点聚焦光刻系统等关键技术的攻关,旨在突破精密制造领域的共性技术瓶颈,为国产高端装备的自主可控奠定坚实技术基础。
二、产业转化赋能
面向战略性新兴产业的迫切需求,工程技术研究中心整合“产学研用”多方资源,开展软硬一体化的智能产品开发与现代工程技术研究。重点推动微机电与光刻核心技术在智能装备、工业互联网等领域的产业化应用与示范,加速创新链与产业链的深度融合。
三、区域创新支撑
工程技术研究中心致力于打造一个集科研攻关、高端人才培养与科技成果转化为一体的综合性平台。通过组建由高级职称、博士学位技术带头人领衔的跨学科研发团队,为区域产业升级提供持续的技术与人才输出,助力区域经济高质量发展。
四、推动产学研融合与成果转化
构建合作平台:与郑州大学等知名高校和科研机构共建联合实验室,构建稳固的战略合作平台,打通从基础研究到应用开发、成果转化的快速通道。
明确产品目标:计划在3年内,开发完成光刻系列设备样机2台以上、镀膜类真空系列设备2台以上;并在未来5年内,将主打的全套光刻加工设备推向市场,实现全面量产销售。
强化知识产权:计划申请知识产权8-10项,发表高水平学术论文4篇,构建完善且具有竞争力的自主知识产权体系。



