雷神研究院微机电与半导体制备研究所通过与台湾大学、郑州大学以及国内高校科研院所的多年通力合作，以半导体芯片和传感器制造为核心，研发出集设计、生产、测试、喷镀等整套的解决方案，可用于功率电子器件、传感器、光电子器件、微波电路及其他新型电子元器件的单、双面对准及曝光工艺， 对于半导体设备设计、教学、研发起到有力支持。未来可依据该研究所为省MEMS平台提供有力支持。

微机电系统（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System），也叫作微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。微纳机电系统技术是多学科交叉后的融合技术，是继集成电路（IC）技术之后，信息产业中的又一个高新技术领域。

雷神研究院微机电与半导体制备研究所目前产品涵盖微纳制备相关设备：接触式曝光机、步进式光刻机、磁控溅射镀膜机、纳米静电纺丝机。和半导体测量相关设备：四点量测系统、无损检测系统、交变梯度磁力计、振动样品磁强计、磁光克尔效应测量系统、柯尔显微镜、接触角测量技术。